鍍膜時，金屬靶材中毒嚴重，為什么？怎么避免？以及中毒后靶材怎么處理？
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【***** 待定 *****】
【其它答案】2018-07-25
有幾個原因：真空室漏氣或漏水，真空室內有揮發的成分，沒有充入氬氣，充入空氣或其他其他，可能引起中毒，這些成分與靶材反應，變成黑色覆蓋靶材表面，影響成膜速度。
將靶材用中品源或射頻源打兩個小時，可以恢復。
將靶材拆出來，用砂紙拋光，也可解決。
防止靶材中毒，先保證真空室不漏，清理內部，除去揮發成分等。